Krüopump on vaakumpump, mis kasutab gaasi kondenseerimiseks madala temperatuuriga pinda, tuntud ka kui kondensaadipump. Krüopump suudab saavutada kõrgeima pumpamiskiiruse ja madalaima lõpliku rõhuga puhta vaakumi ning seda kasutatakse laialdaselt pooljuhtide ja integraallülituste uurimisel ja tootmisel, samuti molekulaarkiirte uurimisel, vaakumkatmisseadmetes, vaakumpinna analüüsivahendites, ioonides. implantaatorid ja kosmosesimulatsioon. seadmed jne.
Pumpamispõhimõte Krüopump on varustatud külmplaadiga, mis jahutatakse väga madalale temperatuurile vedela heeliumi või külmkapiga. See kondenseerib gaasi ja hoiab kondensaadi aururõhu pumba lõplikust rõhust madalamal, et saavutada pumpamise efekt. Madala temperatuuriga pumpamise peamised funktsioonid on madala temperatuuriga kondenseerumine, madala temperatuuri adsorptsioon ja madala temperatuuri püüdmine.
krüopump
① Madala temperatuuri kondenseerumine: gaasimolekulid kondenseeruvad külma plaadi pinnale või kondenseerunud gaasikihile ja tasakaalurõhk on põhimõtteliselt võrdne kondensaadi aururõhuga. Vesiniku pumpamisel on külmplaadi temperatuur madalam.
②Madala temperatuuriga adsorptsioon: gaasimolekulid adsorbeeritakse adsorbendi pinnale, mis on kaetud külma plaadiga ühe molekulikihi paksusega. Adsorptsiooni tasakaalurõhk on palju madalam kui aururõhk samal temperatuuril.
③ Krüogeenne püüdmine: gaasimolekulid, mida ei saa ekstraheerimistemperatuuril kondenseeruda, maetakse ja adsorbeeritakse kasvava kondenseeruva gaasikihi poolt.